Введение 2
Основные методы пленочной технологии 3
Магнетронное распыление материалов 6
Принцип действия магнетронной распылительной системы 6
Область разрядного промежутка 8
Вольт-амперная характеристика (ВАХ) разряда 12
Параметры процесса магнетронного распыления: коэффициент распыления, скорость распыления 13
Магнетронные распылительные системы. 15
Возможности и применение. 15
Некоторые сведения 16
Конструкция современных магнетронных распылительных систем. 18
Заключение 23
Список используемой литературы 24
Краткое содержание работы:
Введение
Известно, что тонкие пленки в настоящее время находят широкое применение в технике.
Современная планарная технология твердых приборов любого уровня сложности: от дискретного диода до СБИС и от планарного световода до оптоэлектронных ИС – основана и главным образом зависит от получения высококачественных тонких пленок слоев диэлектриков, полупроводников и металлов.
Существует большое количество методов получения тонких пленок, наибольшее распространение из которых получили метод испарения и ионного распыления. Разновидностью ионного распыления является метод магнетронного распыления, который здесь следует особо выделить. Он обладает рядом преимуществ, и достаточно важных, по сравнению с традиционными методами, то есть испарением в вакууме и высокочастотным ионно-плазменным распылением.
Метод магнетронного распыления широко используется в самых различных областях микро- и оптоэлектроники. Нанесение покрытий в вакууме с помощью магнетронных систем заключается в распылении твердой мишени напыляемого материала ионами инертного газа, образующимися в плазме аномального тлеющего разряда при наложении на него магнитного поля.
Для того, чтобы вникнуть в суть метода магнетронного распыления, нужно знать теорию всех физических процессов и явлений, на использовании которых основан данный метод.
Потом можно непосредственно перейти к рассмотрению самого метода магнетронного распыления системы.
В нашей компании вы можете заказать консультацию по любой учебной работе от 300 руб. Оформите заказ, а договор и кассовый чек послужат вам гарантией сохранности ваших средств. Кроме того, вы можете изменить план текущей работы на свой, а наши авторы переработают основное содержание под ваши требования
